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光刻機(jī)是干嘛的 光刻機(jī)什么概念

更新時(shí)間：2024-01-31 09:41:13作者：佚名

光刻機(jī)是干嘛的 光刻機(jī)什么概念

1、光刻機(jī)又名掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機(jī)的種類可分為：接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。

2、光刻機(jī)的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上。然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。

本文標(biāo)簽： 概念  

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