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1、手動(dòng)式

操作者用手握住主軸使其沿著軸移動(dòng)。測(cè)量時(shí)，需注意探頭與工件間測(cè)量壓力、及探頭移動(dòng)因加速度所造成軸產(chǎn)生彎曲導(dǎo)致測(cè)量誤差。

2、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式

馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x一般可由游戲桿控制。它具有高測(cè)量精度、容易操作、且提供教導(dǎo)式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。

3、CNC式

CNC式三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x除了具有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式的功能之外，還可自動(dòng)依照計(jì)算機(jī)所預(yù)先設(shè)定的程序執(zhí)行測(cè)量，甚至有些廠商出品的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，也提供了自動(dòng)裝拆工件。CNC式三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x除提供尺寸測(cè)量（點(diǎn)到點(diǎn)的測(cè)量）外，也可作曲面的輪廓測(cè)量（點(diǎn)到點(diǎn)的測(cè)量及掃瞄測(cè)量）。