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氧氣廠一般用的是低溫分離空氣法來制取氧氣。主要分為空氣增壓系統(tǒng)、空氣凈化系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、精餾系統(tǒng)以及后備系統(tǒng)幾大塊。其原理是利用帶壓介質(zhì)（一般是空氣，也有用氮?dú)獾模┡蛎浿评?，產(chǎn)生冷量，經(jīng)節(jié)流換熱，將空氣液化為液體，在精餾系統(tǒng)中形成上升蒸汽和回流液體，建立精餾工況，然后利用液空中氧氣沸點(diǎn)（-183℃）和氮?dú)夥悬c(diǎn)（-196℃）不同，上升蒸汽與回流液體傳質(zhì)傳熱，上升蒸汽中的氧被冷卻到回流液中，回流液中的氮被蒸發(fā)到上升蒸汽中，經(jīng)過多次精餾后，回流液體中的含氧達(dá)到99.6%甚至更高、上升蒸汽中氮含量達(dá)到99.999%，就會(huì)得到高純氮?dú)庖约耙簯B(tài)氧氣。液態(tài)氧氣經(jīng)過板式換熱汽化就變成了所需氧氣。